携帯端末やPCなどの小型マイクロホンに対応する世界最小の超小型高感度MEMSマイクロホンチップ

　オムロンは、世界最小の超小型「ＭＥＭＳマイクロホンチップ」を開発、小型マイクロホンメーカーなどに向け、２３日からサンプル販売を開始した。今後、コスト低減が期待できる８インチＭＥＭＳラインへ生産を移管し、０８年度に正式発売する予定。

　 新製品は、携帯端末やＰＣ用などの小型マイクロホンに対応する、高感度のＭＥＭＳマイクロホンチップ。独自の折り返しウエットエッチング技術でバックチャンバ部の断面形状を菱形状にし、特性を向上させながらチップの小型化を実現した。これにより、ＭＥＭＳマイクロホンチップとしては世界最小の１.２×１.３×０.４ミリメートルの超小型サイズを達成した。

　 ダイヤフラム部の独自の４点支持構造と薄膜制御技術で、ＭＥＭＳチップの高感度化を実現。同社のマイクロホンモジュール試作評価では、マイナス４０デシベルＶ（１Ｐａ、１キロヘルツ）レベルの高感度を確認している。
　 また、シリコン製のためリフロー実装が可能になり、生産効率を向上できる。

　 同製品と８インチで形成された試作品を、２５日から２７日まで東京ビッグサイトで開催される「第１８回マイクロマシン/ＭＥＭＳ展」に出展する。

　 ＭＥＭＳマイクロホンモジュールも商品化を計画中で、今秋にはサンプル販売を開始する予定。