MEMS加工技術を使った0.8ミリ角チップのマイクロ真空計

　コーデンシ（京都市宇治市槙島町１０―１５８、中嶋郭和社長）は、ＭＥＭＳ加工で極微小空間の真空度を安定して計測できるマイクロ真空計を開発した。

　 独自のＭＥＭＳ加工技術を用い、０.８ミリ角チップで微小空間の圧力を測定できる。評価用パッケージサイズは６.５×６.５×１.８ミリ。

　 シリコンプロセスによる簡単な測定回路のため、低コストで大量生産が可能。構造を工夫し、低圧側の計測の幅を広げた。マイクロ真空計の中でも低圧領域の測定ができる。真空封止デバイスの信頼性評価や微小空間の気圧測定、従来真空計の置き換えなどの用途を狙っている。