誤差+-5PPMのシリコンベースのMEMS発振子SiT1052

　【サンノゼ（米カリフォルニア州）＝加藤特派員】米サイタイムは１１月３０日、ＭＥＭＳ発振子ＳｉＴ１０５２を発表した。リアルタイムクロックや時間管理への応用としては、世界初となる。水晶を使わずにシリコンで実現し、シリコンベースでは世界最高の周波数特性として、プラスマイナス５ＰＰＭを実現した。

　 ３２.７６８キロヘルツの水晶発振子機能をそのまま代替でき、サイズは約１０分の１。内部ではその１６倍の周波数で発振させ、プログラムで周波数を落としている。同社でマーケティングを担当するピユシュ・セヴァリア副社長は「そういったプログラマブル性もシリコンのメリットの一つ。コストや信頼性、振動耐性などでもシリコンが有利」と述べた。

　 ＳｏＣやＡＳＩＣやＡＳＳＰなどのチップとワイヤボンディングやフリップチップで接合でき、全体を安価なプラスチック・パッケージに封入できる。同社独自のＭＥＭＳファースト・プロセスにより発振子はシリコン内に真空封止され、高価なセラミック・パッケージや気密シーリングは不要だ。
　 同社は、水晶の発振機能をＭＥＭＳ技術でシリコンで置き換えることを主眼として事業を行っている。「はんだ付けやリフローなどの工程でも、周波数シフトを起こすことが多い水晶では、高い特性を出そうとするとコストもかなり高くなる。消費者向けエレクトロニクス、通信、コンピュータのストレージ、産業用組込みシステムなどで、発振や時間管理のために、シリコンを積極的に役立てていきたい」とセヴァリア氏は語った。