DCから110ギガヘルツ帯まで測定高周波回路検査用プローブ「PENPROBE.CAシリーズ」

　ヨコオは、ICチップ、ウエハーおよびモジュール回路検査冶具として、DC―110ギガヘルツ　帯まで測定可能な「PENPROBE．CA（ペンプローブドットシーエー）シリーズ」を開発した。フレックス積層基板技術による低損失なＣＰＷ構造の伝送線路と、フォトリソパターンニングめっき技術を用いたコンタクタとを含むプローブユニットを備えた、同軸コネクタ接続型高周波プローブ。

　近年、UHF帯からマイクロ波帯の長距離通信では、GaAsやGaN、シリコンCMOS　ASICなどの高速半導体デバイス使用が増加。短距離大容量通信では60ギガ―90ギガヘルツ　帯が注目され、デバイスやモジュールの研究開発が進む。

　これらの開発には回路検査が不可欠で、高周波回路検査装置や回路検査冶具は一層の需要増加が見込まれる。こうしたニーズに対応し、DC―110ギガヘルツ　帯での高周波回路検査用プローブを開発した。

　特徴は（1）共通のプローブボディーに、コネクタサイズやコンタクタピッチの違いに応じて異なるプローブユニットを組み合わせて使用可能（2）フォトリソパターンニングめっき技術を用いコプラナリティの良いコンタクタを実現（3）75―110ギガヘルツ　帯ではBiasTee内蔵タイプも準備。

　高周波デバイスやモジュールへの適用を考慮してコンタクタ先端の接触角をAuパッド用に30度、アルミパッド用に45度の２種のプローブボディーを用意した。

　プローブユニットは、接続用同軸コネクタとしてＫコネクタから１ミリメートルコネクタまで4種類をそろえ、プローブの適切な精密校正を行うためのISS基板付き製品もそろえた。

　同社はさらに、サブミリ波帯域回路検査用に、13年５月に75ギガ―325ギガヘルツ　帯で使用できる各種導波管タイプの高周波プローブのリリースも計画する。