電波プロダクトニュース



041005_07
 
日付 メーカー名 製品分類 分類 用途
10月5日041005_07 オムロン センサー部品 半導体センサー他

MEMSフローセンサー



 オムロンはデジタル機器、空調機器向けのダスト分離構造付きMEMSフローセンサー「形D6F―W」を今月から発売した。

機器内部に送り込む風量を計測し、フィルターの目詰まりによる微小な風量変化を高精度に検出できる。フィルターの交換時期を知らせることで、機器の故障を未然に防ぐことができる。 検出部に独自のMEMS技術により、1.55×1.55ミリ、厚み0.4ミリの超微細構造の世界最小、高感度のフローセンサー素子を開発し、外形寸法20×39×9ミリの小型化フローセンサーを実現した。フローセンサー素子は1センチメートル/秒以下の微流速計測が可能。温度の影響が少なく、高速応答。フローセンサーは独自の立体流路構造を用いほこり、粉塵を分離排出し、信頼性を高めた。

04年中に半導体装置向けに空気の流量計測タイプ一機種、医療機器、計測機器向けに空気・酸素の流量計測タイプ4機種のMEMSフローセンサーをラインアップする予定。MEMSフローセンサー全体で07年度60億円の売上げを見込んでいる。


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