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傾斜角・振動検出および姿勢制御システム用小型・高感度の半導体加速度センサー2タイプ  三菱電機は、カーナビやプロジェクタなどの民生・産業機器の傾斜角・振動検出および姿勢制御システムに最適な小型・高感度の半導体加速度センサー「ＭＡＳ１９１０Ｐ」「同１９２０Ｐ」２タイプのサンプル出荷を６月１日から開始する。サンプル価格はそれぞれ８００円と1000円。生産は、同１９１０Ｐが月１０万個、同１９２０Ｐが５万個の予定（０５年度）。 ＭＡＳ１９１０Ｐは１軸検出タイプで、同社がこれまで培ってきたバルクマイクロマシンニング技術によりセンサーチップを小型化するとともに、回路設計の最適化により、従来ＡＳＩＣの後段に必要としたローパスフィルタを省き、従来比２分の１の業界最小実装面積8.12×6.8ミリメートルを実現した。小型になっても加速度検出感度は業界最高水準の1000ミリボルト／ｇ。価格は月１０万個移行時に従来比３分の２程度とする予定。 同１９２０Ｐは２軸検出タイプで、センサーチップと信号用ＡＳＩＣの小型化により、２軸タイプでありながら１軸タイプと同等の製品サイズ10.3×10.3ミリメートルを実現している。 |
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