QMEMS技術採用で高精度・高分解能な小型サイズの水晶絶対圧センサー

　エプソントヨコムは、独自の受圧構造の採用により±１０Ｐａ（パスカル）の高精度と０.１Ｐａの高分解能という高性能を体積１２.５ＣＣ、重量１５グラムという小型サイズの水晶絶対圧センサーを開発した。

　 ０９年度の商品化を目指している。

　 新製品は、感圧素子に音叉型水晶振動子を採用し、安定度の高い発振周波数を得ることで、高精度で高分解能を実現したもの。さらに、ＱＭＥＭＳ技術を駆使した受圧構造を新たに開発し、小型と高性能を両立した。

　 これによって、気象観測における大気圧の高精度計測、大気圧の変化による高低差計測、屋内におけるドアや窓などの開閉による微小な内圧変化の検出などに利用できる。