気圧・水圧検知用ピエゾ抵抗式防水タイプMEMSセンサー

　アルプス電気は１６日、携帯電話などでの気圧や水圧検知用に、世界最小クラスのピエゾ抵抗式防水タイプＭＥＭＳセンサー（絶対圧検知）「ＨＳＰＰＡシリーズ」を開発、量産開始したと発表した。

　 薄膜プロセス技術、微細加工技術、パッケージ技術を用い、ピエゾ抵抗式の防水タイプ圧力センサーとして世界最小クラス（直径３.９５×高さ１.８５ミリメートル）の小型・低背化を実現した。

　 ピエゾ抵抗式は、外部からの圧力でダイヤフラムがたわみ、ダイヤフラム上に形成したピエゾ抵抗素子が歪むことで生じる電気抵抗変化を電圧信号として読み取り、圧力を割り出すもの。

　 ダイヤフラムのたわみ量を直接、ピエゾ抵抗素子の電気抵抗変化としてとらえるため、シンプルな素子構造で小型化に適している。

　 構造や材料の最適化により、高い耐水性と高感度な圧力検知性能を達成した。シーリング加工で水深５０メートルまで使用可能。特性のばらつきを抑えるため、エッチング条件の最適化による安定したキャビティ形成、外部応力の影響を抑えたＳｉ―Ｓｉ封止接合を行っている。用途は携帯電話、腕時計、ＤＳＣ、ＤＶＣなど。

　 サンプル価格は２千円（税込み）。今月から長岡工場（新潟県長岡市）で量産開始、１０年１２月には月産２０万個の生産を計画する。

　 圧力検知範囲は５０―１１０/５０―２００/１００―５００ｋＰａ。使用温度範囲マイナス２０度―プラス６０度Ｃ。電源は定電流駆動０.１５ｍＡ。

　 同社は、防水タイプのほか、通常タイプのＭＥＭＳ圧力センサー（素子単品/アンプ搭載タイプ）をラインアップしている。