狭ピッチ対応の高周波デバイス検査用「短尺プローブ」3品種

　ヨコオは、高周波デバイス検査用「短尺プローブ」の狭ピッチ対応製品３種類を開発、製品化した。開発したのは「０.５ミリピッチ」「０.４ミリピッチ」「０.３ミリピッチ」に対応した製品。今春から市場投入する。

　 次世代携帯端末、衛星通信、光デバイス、車載レーダーなどの分野で需要増が予想される高周波デバイスは、高速・多機能化進展により、デバイス検査用プローブについても高周波検査に対応した性能が強く求められる。

　 新製品は、こうしたニーズに対応するため、より狭ピッチで高周波検査が可能な短尺タイププローブを開発したもの。デバイス単体で実使用周波数での検査が可能となり、検査品質向上に貢献する。

　 高周波デバイス分野では、搭載機器の小型化に伴いＷＬＣＳＰ化が進み、ウエハーレベルでの高周波検査ニーズが高まっているが、高周波検査が可能な前工程検査用プローブカードはランニングコストが高く、メンテナンスも容易でないことが採用上のネックとなっている。

　 今回開発の狭ピッチ対応の短尺プローブは、前工程検査用プローブカードへの展開も可能なため、同製品の使用で、後工程検査用ソケット使用の場合と同程度のコスト、メンテナンス性を確保しつつウエハーレベル検査が可能になるというメリットが得られる。

　 狭ピッチ対応「短尺プローブ」の主要仕様は、使用長は０.３ミリ/０.４ミリピッチ１.８ミリメートル、０.５ミリピッチ１.５ミリメートル。挿入損失は０.３ミリ/０.４ミリピッチ０.５デシベル１２ギガヘルツ、０.５ミリピッチ０.５デシベル１６ギガヘルツ。