高精度・高分解能の絶対圧センサー「XP-6000CA」

　エプソントヨコムは、高精度、高分解能と小型サイズを両立した絶対圧センサー「ＸＰ―６０００ＣＡ」を開発した。１０月からサンプル対応を開始する。

　 同社は、これまで高精度な圧力測定を要求される製造装置や、ダム・河川の水圧から水位を計測する計測器向けなどに、高性能の水晶圧力センサーを開発・販売してきた。この計測機器用の水晶圧力センサーで培った技術を基に、その精度・分解能を維持しながら、モバイル機器でも使えるまで小型化を進めたもの。

　 新製品は、ＱＭＥＭＳ技術を駆使した独自の受圧構造を開発することで、圧力総合精度プラスマイナス３０Ｐａ、分解能０.３Ｐａという高精度・高分解能と同時に、７.０×５.０×２.０ミリメートルというサイズにまで小型化することに成功した。

　 高精度、高分解能という特徴に加えて、水晶をセンサー素子の素材としているため、温度などの外部環境の変化に対して安定したセンサーとなっている。

　 さらに、圧力計測を行うために水晶振動子の計測技術を応用した周波数カウント方式を採用することで、ノイズの影響を受けにくい圧力計測を実現した。測定圧力範囲は３０ｋ―１３０ｋＰａ。使用温度範囲はマイナス４０―プラス８５度Ｃ。