QMEMS技術を使った小型・高性能な慣性計測ユニット（IMU)

　エプソントヨコムは、ＱＭＥＭＳ技術を用いた水晶ジャイロセンサーによって培った技術を基に、新たに高精度・高安定・小型の慣性計測ユニット（ＩＭＵ）を製品化に向けて開発している。１１年４月に、開発サンプル出荷を開始する予定。

　 現在開発中のＩＭＵは、プラスマイナス３００ｄｅｇ/ｓのジャイロセンサー３軸とプラスマイナス３Ｇの３軸加速度度センサーを搭載した小型ＩＭＵ。

　 角速度においては―６ｄｅｇ/ｈｒのバイアス安定性と、―０.２４ｄｅｇ/ｈｒの角度ランダムウォーク性能という優れた特性を実現している。代表的な従来製品に比べ、それぞれ約４分の１、約８分の１の高安定・高精度を実現した。

　 さらに、高精度補正技術によって、動作温度範囲内０.００５（ｄｅｇ/ｓ）/度Ｃという高いバイアス温度安定性を実現した。この特性についても、代表的な従来製品に比べて、約２分の１という安定度に当たる。

　 一般的にセンサーは、安定性能と小型化は相反するが、同社ではＱＭＥＭＳ技術を精密にすることで、この性能を堅持しつつ、軽量なアプリケーションや可動機構への実装を容易にするパッケージの小型化を進めている。

　 この製品は、産業・工業システムのモーション解析・制御、移動体制御、振動制御・安定化といった幅広い用途に向けて開発を進めている。