電波プロダクトニュース



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日付 メーカー名 製品分類 分類 用途
1月11日110111_02 タムラ製作所 電子材料 電子材料 一般産業用

鉛を含まない圧電セラミック材料使用の超音波振動発生素子


 タムラ製作所は、鉛を含まない圧電セラミックス材料を開発した。11年度からこの材料を用いた超音波振動発生素子を、半導体製造装置の消耗部材向けに半導体製造装置メーカーを対象に発売する。初年度1千万円の売上げを見込み、当面、年間2億円の売上げを目標としている。

  従来は、鉛を含まずに圧電特性を維持することは困難とされていたが、今回開発した鉛を含まない圧電セラミックス材料は、圧電定数Qm(機械的品質係数)が2200以上を達成した。この定数値は、鉛系圧電セラミックスと同等の特性を示し、従来の鉛を含まない圧電セラミックスと比較して、4倍の大きな値を達成している。

  開発した圧電セラミックス材料を用いた超音波振動発生素子が、半導体製造装置の消耗部材向けに採用されたことを機に、半導体製造装置メーカーへの販売をスタートするもの。





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