高周波デバイス検査向け0.5ミリピッチの短尺プローブ

　ヨコオはこのほど、高周波デバイス検査市場向け「短尺プローブ」の新製品を開発、製品化した。

　新製品は、使用長を従来品より約２５％短尺化した０.５ミリメートルピッチ対応のプローブで、４月から本格的に市場投入する計画だ。

　スマートフォン普及などに伴い、電子機器に実装する通信用半導体としてのＷＬＣＳＰや、ＱＦＮパッケージデバイスの高周波検査需要が増加している。

　同社は、昨年末同検査向けに０.５ミリメートルと０.４ミリメートルのピッチに対応する使用長１.５ミリメートルのプローブを投入したが、引き続き使用長の短尺化を進め、今回、０.５ミリメートルピッチ用で使用長１.１ミリメートルとした製品の開発を完了したもの。

　同社は従来、０.８ミリメートルピッチ対応品で実績があるが、新製品はさらにピッチの狭いＷＬＣＳＰやＱＦＮパッケージなどの高周波デバイス検査に対応可能だ。

　新製品の０.５ミリメートルピッチ対応短尺プローブは、従来のプランジャ、バレル、スプリングからなる構造とは異なり、プランジャとスプリングのみで構成。より狭ピッチかつ短尺のプローブを実現、周波数特性も向上させた。

　新製品の性能は、ストロークは０.３ミリメートル、インダクタンスは０.２５ｎＨ（＠ＧＳＧ配列）、周波数特性（＠ＧＳＧ配列）は挿入損失が１６.８ギガヘルツ　＠―１デシベル、反射損失が１８.３ギガヘルツ　＠―１０デシベル。