80マイクロメートルピッチ対応ウエハーRF検査用プローブ

　ヨコオはこのほど、高周波デバイスのウエハー検査市場向けに、「狭ピッチ短尺プローブ・ＹＰＮシリーズ」の新製品として「８０マイクロメートルピッチ対応ウエハーＲＦ検査用プローブ」を開発した。

　今秋からの市場投入を計画する。

　移動体通信機器市場では、スマートフォンやタブレット型端末などの急速な普及により、ＲＦデバイスも高機能化と小型化が進み、ウエハー検査用コンタクタにはさらなる狭ピッチ化と高周波性能が求められている。

　同社はこれまで、ウエハー検査用で低インダクタンスのプローブ製品として、２００―１３０マイクロメートルピッチ対応の「ＹＰＬシリーズ」と、１００マイクロメートルピッチ対応の「ＹＰＮシリーズ」を販売してきたが、ＲＦ検査での一層の狭ピッチ化ニーズに対応し、今回、新たに８０マイクロメートルピッチ対応品を開発したもの。用途は、ＲＦデバイスや高速ロジックデバイスなどのフリップチップ検査用。

　特徴は、優れた高周波特性。単品（１ピン）交換可。マルチサイト対応。ハンドテスト（評価時）とのデータ相関が容易（プローブカードと同一コンタクタ使用可）。

　マルチサイト化により、２千ピン以上のコンタクトも可能。

　仕様は、対応ピッチ８０マイクロメートル。使用長２.１ミリメートル。ストローク１００マイクロメートル。インダクタンス１.１ｎｈ／ピン（ＧＳＧ配列）。周波数特性は、挿入損失１２ギガヘルツ　-１デシベル（ＧＳＧ配列）。 　同社は、さらなる狭ピッチ品として、６０マイクロメートルピッチ対応プローブ開発も進めている。