電波プロダクトニュース



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日付 メーカー名 製品分類 分類 用途
1月30日 140130_01 村田製作所 半導体素子 半導体センサー 一般産業用

高精度・低消費電流の静電容量型MEMS気圧センサー


 村田製作所は、高精度、低消費電流の静電容量型MEMS気圧センサーを開発した。ナビゲーションシステム、活動モニタリングシステム、ヘルスケア機器、気象データ収集などの用途向けに今年末から量産を開始する。工場は未定。

 ムラタ エレクトロニクス Oyでは、フィンランド工場で静電容量型MEMS気圧センサーを生産している。12年1月に買収したフィンランドのVTI社(現ムラタ エレクトロニクス Oy)の静電容量型MEMS技術を応用したもの。温度ドリフト性能を向上し、ノイズレベルを5センチメートルに相当する0.5Parms(変換時間1秒、消費電流42μA)に低減した。変換時間12分の1秒、消費電流4.1μAでノイズレベル2.1Parms。

 ノイズレベルは、同じ消費電流比較でこれまでの他社品に比べ約4分の1。海抜60メートル地点で57センチメートルの段差がある階段でも高精度な気圧データを検出できる。高精度に高低差を検出できる。外形寸法2.3×2.6×0.95ミリメートルと小型。


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