情報端末のRF/GPSクロック源向け温度センサー内蔵水晶振動子

２０１６サイズの温度センサー内蔵水晶振動子

　大真空は、世界最小クラスの１６１２サイズ温度センサー内蔵水晶振動子を開発した。

　２５２０サイズ、２０１６サイズの温度センサー内蔵水晶振動子と同等の信頼性を確保。１５年１月から鳥取事業所（鳥取市）で量産を開始する。月産１００万個を予定。スマホ、タブレットＰＣなどの情報端末のＲＦ、ＧＰＳクロック源として供給する。

　新開発の１６１２サイズ温度センサー内蔵水晶振動子「ＤＳＲ１６１２ＡＴＨ」は、水晶片の加工による特性ばらつきが生じにくい素子設計を確立。水晶片を従来品より小型にしても従来品と同等以上の設計マージンを確保した。製造プロセスにおいても既存の生産設備を使って、より高精度な加工を実現している。

　温度センサーも低背型ＮＴＣサーミスタを採用し、世界最小クラスの１.６×１.２×０.６５ミリメートルセラミックパッケージに内蔵できた。金属リッドも用い、２５２０サイズ、２０１６サイズの既存品と同等の信頼性を確保した。