ペン型入力機器等向けMEMS方式で業界最小のフォースセンサー

アルプス電気のフォースセンサー 「ＨＳＦＰＡＲシリーズ」

　アルプス電気は４日、ペン型入力機器や産業機器向けに、ＭＥＭＳ方式で業界最小のフォースセンサー「ＨＳＦＰＡＲシリーズ」を開発、量産開始したと発表した。従来比で大幅な小型化を達成し、かつ高感度検知が可能。

　デジタル描画用に高精度なペン型入力機器（スタイラスペン）の需要が増加している。スタイラスペンには、ペン先の軌道を捉えるとともに、筆圧に応じた描画の太さを再現するためフォースセンサーが搭載される。

　一方、より滑らかな階調表現をするには高分解能のセンサーの搭載が必要で、ペン軸が太くなるという課題があった。加えて、ＩｏＴやロボット市場では接触時の荷重検知、荷重バランスや握力の制御用に小型・高感度なフォースセンサーの需要増加が予想されている。

　従来のフォースセンサーは、主に半導体歪み抵抗素子と、金属歪み抵抗素子を用いたセンシング方式があり、前者は高感度ながらサイズが大きく、後者は小型化できる半面、感度が低くなるという課題があった。

　同社は半導体歪み素子を用いながら、独自のＭＥＭＳ技術とパッケージング技術を駆使することで、汎用性に優れた高感度フォースセンサー「ＨＳＦＰＡＲシリーズ」を開発、量産開始した。２.００×１.６０×０.６６ミリメートルと大幅な小型低背化を実現するとともに、０.０１Ｎレベルの応力から検出可能。細かな筆圧の変化やロボットの荷重移動など高精度検知を実現する。

　ＳＭＤタイプに加え、ＦＰＣ付きのユニットタイプもラインアップ。耐用１００万回超の長寿命。用途はスタイラスペンやタッチパネルなどのインプットデバイス、ロボット、各種産業機器など。長岡工場（新潟県長岡市）で月産１５万個の量産を開始した。